? 標準的粗糙為R a 0 . 2 5μm(B A級) , 或者電解拋光R a 0 . 1 3μm(E P級) 可選 ? 氦氣測試泄漏率<1×1 0 - 9 s t d c m 3 / s ? 氣動執(zhí)行器可供選擇 ? 氣動閥壽命可達3 0 0萬次" />
隔膜閥:http://img01.g3wei.com/downloads/50083046/jPsEPM2dBx.pdf